国家/地区 中国(4)
IPC部 B(4) C(4) H(4)
IPC大类 B82(4) C01(4) C23(4)
H01(4) C30(3)
IPC小类 B82Y(4) C01B(4) H01L(4)
C23C(3) C30B(3) H01B(3)
B82B(2)
IPC B82Y030/00(4) C01B031/02(4) C01B031/04(4)
B82Y040/00(3) C30B029/02(3) B82B003/00(2)
C01B032/188(2) H01B001/04(2) H01L031/04(2)
发明人 VEERASAMY V(4) VEERASAMY V S(4)
公开年 2011(4)
申请年 2009(3) 
专利权人 GUARDIAN IND(4)